in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)-公開招標(biāo)公告
發(fā)布時(shí)間：2025-11-06 22:35:33 打印
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1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng)招標(biāo)人為中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所，招標(biāo)項(xiàng)目資金已落實(shí)。該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。
2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號：ZKX20250341A054
2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：1套
2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：
設(shè)備用途：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)主要應(yīng)用于量子傳感、硅光等芯片的微納結(jié)構(gòu)制造過程中的光刻工藝，通過和深紫外光刻機(jī)在線聯(lián)機(jī)，完成光刻膠旋涂合烘烤后，將晶圓直接傳送到光刻機(jī)進(jìn)行曝光，再傳送回該系統(tǒng)完成顯影，達(dá)到最終將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印至光刻膠上的目的。
系統(tǒng)組成：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng)主要由上下料單元、傳輸單元和涂膠顯影單元等組成。
2.5 交貨地點(diǎn)：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所指定地點(diǎn)。
2.6 交貨期：合同簽訂后6個(gè)月內(nèi)到貨。
3. 投標(biāo)人資格要求：
3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.3 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。一個(gè)制造商對同一品牌同一型號的設(shè)備，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)。提供制造商針對本項(xiàng)目（帶本項(xiàng)目招標(biāo)編號）的授權(quán)書（原件）。
3.4 財(cái)務(wù)要求：投標(biāo)人應(yīng)附2024年經(jīng)會計(jì)師事務(wù)所或?qū)徲?jì)機(jī)構(gòu)審計(jì)的財(cái)務(wù)會計(jì)報(bào)表，包括審計(jì)報(bào)告正文、資產(chǎn)負(fù)債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復(fù)印件。投標(biāo)人的成立時(shí)間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來的財(cái)務(wù)報(bào)表。投標(biāo)人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計(jì)的或單位內(nèi)審的2024年財(cái)務(wù)報(bào)表。
3.5 業(yè)績要求：投標(biāo)廠商2022年至今有交付的in-line深紫外涂膠顯影類設(shè)備3個(gè)以上（含3個(gè)）的成功案例，且提供有效的合同復(fù)印件、合同復(fù)印件對應(yīng)的發(fā)票復(fù)印件或驗(yàn)收報(bào)告或收款證明等項(xiàng)文件；
3.6 信譽(yù)要求：投標(biāo)人在經(jīng)營活動中，無嚴(yán)重違法失信記錄，具有良好的信譽(yù)。提供相關(guān)證明材料（如信用中國或各級信用信息共享平臺的查詢結(jié)果）或信譽(yù)承諾書。
3.7 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。
4. 招標(biāo)文件的獲取
4.1凡有意參加投標(biāo)者，請于2025年11月6日至2025年11月13日17時(shí)(北京時(shí)間)，登錄中航工業(yè)電子采購平臺（www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標(biāo)文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺服務(wù)熱線400-890-0880。
4.2 招標(biāo)文件售賣
每套招標(biāo)文件售價(jià)人民幣 800 元整，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā)送至申請時(shí)所填郵箱。潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
4.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關(guān)說明）。
5. 投標(biāo)文件的遞交
5.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2025年11月28日9時(shí)00分（北京時(shí)間），投標(biāo)人應(yīng)在截止時(shí)間前通過中航工業(yè)電子采購平臺（www.eavic.com）上傳加密的電子版投標(biāo)文件，并在此時(shí)間前遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號西安亞丁灣羽安酒店會議室。
5.2逾期送達(dá)的投標(biāo)文件，電子招標(biāo)投標(biāo)交易平臺將予以拒收。
6. 發(fā)布公告的媒介
本次招標(biāo)公告同時(shí)在中招聯(lián)合招標(biāo)采購平臺和中國招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺和中航工業(yè)電子采購平臺上發(fā)布。
7. 聯(lián)系方式
招標(biāo)人：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所
地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號
聯(lián)系人：任經(jīng)理
電話：029-61886363
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)：中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓
郵編： 100039
聯(lián)系人：郗女士
電話：029-89249895
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：王瑋
電話：029-89248691、029-89248368
傳真：010-88529153
電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com
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